Máy phủ chân không là thiết bị lắng đọng các màng mỏng kim loại lên bề mặt chất nền. Nguyên lý làm việc cơ bản của nó được chia thành ba bước: làm sạch, bay hơi và lắng đọng.
1. Vệ sinh
Trước khi lắng đọng bay hơi, buồng bay hơi phải được làm sạch. Vì có thể có oxit, dầu mỡ, bụi và các chất khác bám trên bề mặt buồng bay hơi sẽ ảnh hưởng đến chất lượng của màng. Việc làm sạch thường sử dụng các phương pháp hóa học hoặc vật lý.
2. bốc hơi
Vật liệu mong muốn được nung nóng trên điểm nóng chảy để tạo thành các phân tử khí. Các phân tử khí sau đó được thoát ra khỏi buồng chân không vào buồng bay hơi. Quá trình này được gọi là bay hơi. Nhiệt độ, áp suất và tốc độ bay hơi ảnh hưởng đến thành phần, cấu trúc và tính chất của màng.
3. Lắng đọng
Các phân tử khí của vật liệu trong buồng bay hơi đi vào buồng phản ứng thông qua ống chân không, phản ứng với vật liệu hoạt động và sau đó lắng đọng sản phẩm lên bề mặt chất nền. Quá trình này được gọi là lắng đọng. Nhiệt độ, áp suất và tốc độ lắng đọng cũng ảnh hưởng đến chất lượng và hiệu suất của màng.
2. Ứng dụng
Máy phủ chân không được sử dụng rộng rãi trong khoa học vật liệu, quang học, điện tử và các lĩnh vực khác.
1. Khoa học vật liệu
Máy phủ chân không có thể chuẩn bị màng mỏng bằng nhiều kim loại, hợp kim, oxit, silicat và các vật liệu khác, và được sử dụng rộng rãi trong lớp phủ, màng quang học, bộ lưu trữ quang, màn hình, bóng bán dẫn và các lĩnh vực khác.
2. Quang học
Máy phủ chân không có thể chuẩn bị màng kim loại và hợp kim có độ phản xạ cao và màng quang học có chức năng đặc biệt. Những màng này có thể được sử dụng trong các tấm pin mặt trời, kính hiển vi điện tử hiệu suất cao, aerogel, cảm biến UV/IR, bộ lọc quang học và các lĩnh vực khác.
3. Điện tử
Máy phủ chân không có thể chuẩn bị các vật liệu điện tử và thiết bị vi điện tử có kích thước nano. Những màng này có thể được sử dụng trong bóng bán dẫn nano, bộ nhớ từ tính, cảm biến và các lĩnh vực khác.
Nói tóm lại, máy phủ chân không không chỉ có thể chuẩn bị các vật liệu màng mỏng khác nhau mà còn có thể chuẩn bị các màng mỏng có chức năng đặc biệt khi cần thiết. Trong tương lai, công nghệ phủ chân không sẽ được sử dụng và phát huy rộng rãi hơn.
Thời gian đăng: Mar-12-2024